數(shù)字式太陽(yáng)能級(jí)硅晶體少子壽命測(cè)試儀的作用
LT-200數(shù)字式太陽(yáng)能級(jí)硅晶體少子壽命測(cè)試儀簡(jiǎn)介1. 儀器應(yīng)用范圍及說明本設(shè)備是按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載流子壽命測(cè)定的高頻光電導(dǎo)衰減法"設(shè)計(jì)制造。高頻光電導(dǎo)衰減法在我國(guó)半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整流器件、核探器行業(yè)已運(yùn)用了三十多年，積累了豐富的使用經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)過數(shù)次全國(guó)十多個(gè)單位巡回測(cè)試的考驗(yàn)，證明是一種成熟可靠的測(cè)試方法，特別適合于硅塊、硅棒的少子體壽命測(cè)量；也可對(duì)硅片進(jìn)行測(cè)量，給出相對(duì)壽命值。方法本身對(duì)樣品表面的要求為研磨面，因此制樣特別簡(jiǎn)便。昆德公司數(shù)字式硅晶體少子壽命測(cè)試儀有以下特點(diǎn)：可測(cè)量太陽(yáng)能級(jí)多晶硅塊、單晶硅棒少數(shù)載流子體壽命。表面無需拋光，直接對(duì)切割面或研磨面進(jìn)行測(cè)量，儀器可按需方提供的有標(biāo)稱值的校準(zhǔn)樣品調(diào)試壽命值。1.1 可測(cè)量太陽(yáng)能級(jí)單晶及多晶硅片少數(shù)載流子的相對(duì)壽命，表面無需拋光、鈍化。1.2 液晶屏上直接顯示少子壽命值，同時(shí)在線顯示光電導(dǎo)衰退波形。1.3 配置的紅外光源：0.904～0.905μm波長(zhǎng)紅外脈沖激光器，光穿透硅晶體深度較淺≈30μm，但光強(qiáng)較強(qiáng)，有利于測(cè)量低阻太陽(yáng)能級(jí)硅晶體少數(shù)載流子體壽命，脈沖功率30W。1.4 **門為消除陷進(jìn)效應(yīng)增加了紅外低光照。1.5 測(cè)量范圍寬廣測(cè)試儀可直接測(cè)量：a、研磨或切割面：電阻率≥0.5Ω•cm的單晶硅棒、定向結(jié)晶多晶硅塊少子體壽命，切割片的少子相對(duì)壽命。b、拋光面：電阻率在0.5～0.01Ω•cm范圍內(nèi)的硅單晶、鍺單晶厚度小于1mm的拋光片。2. 設(shè)備技術(shù)要求及性能指標(biāo)2.1 少子壽命測(cè)試范圍：0.5μs~6000μs 2.2 樣品的電阻率范圍：ρ﹥0.1Ω·cm（非回爐料） 2.3 測(cè)試速度：1分鐘/片 2.4 紅外光源波長(zhǎng)： 0.904～0.905μm 2.5 高頻振蕩源：用石英諧振器，振蕩頻率：30MHZ2.6 前置放大器，放大倍數(shù)約25，頻寬2HZ-2MHZ2.7 可測(cè)單晶尺寸：斷面豎測(cè)：直徑25mm-150mm；厚度2mm-500mm縱向臥測(cè)：直徑5mm-20mm；長(zhǎng)度50mm-200mm2.8 測(cè)量方式：采用數(shù)字示波器直接讀數(shù)方式2.9 測(cè)試分辨率：**用數(shù)字存儲(chǔ)示波器Z小分辨率0.01μs 2.10 設(shè)備重量：20 Kg 2.11 儀器電源：電源電壓類型：?jiǎn)蜗?10～230V,50Hz,帶電源隔離、濾波、穩(wěn)壓，不能與未做保護(hù)措施的大功率、高頻設(shè)備共用電源。
蘇經(jīng)理
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